Edwards liefert Pumpen für die Vacuum Quality Monitor (VQM™)-Systeme von Granville-Phillips

Edwards Group Limited (NASDAQ: EVAC), ein führender Hersteller hochmoderner Vakuumprodukte und Abgasmanagementsysteme sowie globaler Anbieter zugehöriger Mehrwertdienste wird seine Compound-Turbomolekularpumpe EXT75DX an Granville-Phillips® liefern. Diese soll in das neu entwickelte Vakuumüber-wachungssystem 835 Vacuum Quality Monitor (VQM™) integriert werden. Das 835 VQM Differential Pump System (DPS) stellt Echtzeitinformationen zur Verfügung, mit denen diverse vakuumabhängige Prozesse, wie z.B. physikalische Gasphasenabscheidung, Ionenimplantation und reaktives Ionenätzen, insbesondere bei der Fertigung von Solarzellen und Halbleitern, überwacht werden können.

(Photo: Business Wire) Granville-Phillips' 835 VQM Differential Pump System including EXT turbomolecular pump from Edwards

Zudem dient es zur Überwachung und Diagnose von Vakuumsystemen in vielen weiteren Vakuumprozessen wie z.B. bei der Dünnfilmbeschichtung, Forschung und Entwicklung, Hochenergiephysik und andere Anwendungen, bei denen eine präzise Überwachung der Vakuumumgebung von zentraler Bedeutung ist.

Edwards hat zusammen mit Granville-Phillips, einem Tochterunternehmen der Brooks Automation Inc. an der Entwicklung des 835 VQM DPS gearbeitet. Es handelt sich hierbei um ein Diagnosewerkzeug, das zur Überwachung der Qualität einer Vakuumumgebung in einer Vielzahl von Vakuumsystemen eingesetzt werden kann. Der Druckunterschied zwischen der Vakuumkammer und dem VQM-System wird erreicht, indem der Durchgang zum Sensor über eine Drosselblende im Systemabsperrschieber begrenzt und die Detektorkammer mit einer Turbopumpe abgepumpt wird. Auf diese Weise kann das VQM DPS die Vakuumqualität bei Drücken zwischen 3 Torr und 5x10^-9 Torr überwachen.

Granville-Phillips hat die EXT75DX-Compound-Turbopumpe von Edwards auf Grund ihrer hervorragenden Eigenschaften ausgewählt. Sie bietet neben der sehr guten Vakuumleistung, geringe Vibrationen, eine hohe Vorvakuumtoleranz, kompakte Abmaße und einen sehr niedrigen Stromverbrauch. Für Granville-Phillips war der entscheidende Faktor im Auswahlprozess, dass die die Pumpe alle Kriterien des GUTS®-Programm (Guaranteed Up Time Support, Garantierte Betriebszeitunterstützung) von Granville-Phillips erfüllt und dem Nutzer des Systems höchste Leistung bei maximaler Betriebssicherheit bietet.

David Steele, Market Sector Manager bei Edwards, erklärte hierzu: "Das VQM hebt sich durch sein innovatives Design von anderen herkömmlichen Gasanalysetools ab. Edwards hat verbindlich zugesagt, Granville-Phillips ein Vakuumsystem von höchster Qualität zu liefern, das optimale Leistung zum optimalen Preis bietet."

Weitere Informationen zu den Produkten von Edwards erhalten Sie unter www.edwardsvacuum.com.

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